在 精密機(jī)械加工領(lǐng)域，電容測(cè)微機(jī)構(gòu)主要的誤差來(lái)源只要集中在5各方面，這里就讓深圳 精密機(jī)械零件加工廠來(lái)為你解析：

1、電容機(jī)構(gòu)中兩極之間有介質(zhì)(空氣、硅油、煤油等)，這些介質(zhì)受溫度、濕度及高頻激勵(lì)的影響會(huì)產(chǎn)生附加損耗和電效應(yīng)，使靈敏度降低。

2、當(dāng)電容極板尺寸較厚、之間間隙較大時(shí)會(huì)造成邊緣效應(yīng)，使靈敏度下降，并產(chǎn)生非線性，為了消除邊緣效應(yīng)可采用保護(hù)環(huán)結(jié)構(gòu)。此外，可以減小極板厚度或在非金屬材料上涂一層薄金屬膜作為極板。

3、兩極板之間靜電場(chǎng)引力和測(cè)量推力之間不平衡造成的誤差。

4、電容傳感器電容很小，容易受到電路中寄生電容的影響，可將電纜屏蔽和傳感器整體屏蔽克服干擾和寄生電容影響。

5、溫度變化引起其中介質(zhì)介電常數(shù)的溫度系數(shù)變化，引起結(jié)構(gòu)中零件尺寸的變化，而造成大的溫度誤差。所以，不管用什么樣的 CNC加工工藝，結(jié)構(gòu)所用材料和結(jié)構(gòu)元素的選擇要滿足對(duì)溫度的可補(bǔ)償性。