在精密零件加工過程中，對于軸系徑向回轉(zhuǎn)精度測量，國際機械生產(chǎn)技術(shù)研究協(xié)會(CIRP)規(guī)定用一個精密鋼球調(diào)裝在軸系的回轉(zhuǎn)中心上，為了消除鋼球安裝誤差采用兩個位移傳感器互成90°同時測量鋼球的偏擺。經(jīng)電氣濾掉一次諧波，此值就是軸系的徑向誤差運動精度。圖2-51所示為回轉(zhuǎn)軸系徑向精度的測量。

在精密零件加工廠，一般用非接觸電容式測微傳感器，測量的結(jié)果實質(zhì)上就是旋轉(zhuǎn)軸中心的誤差運動軌跡。同理，把精密鋼球換成一個反射鏡可以測量軸系的傾角誤差運動的精度。這種用兩個測微傳感器互成90°的安裝處理，把由于精密鋼球或反射鏡的安裝誤差引起的一次諧波去掉了。

但是，也把由于軸系本身的彎曲、兩軸頸同軸度誤差、主軸上頂尖安裝的同軸度誤差和傾斜度誤差而造成的不應(yīng)去掉的一次諧波誤差也去掉了，可能會因小失大。所以，對精密鋼球或反射鏡要精細(xì)調(diào)整到誤差最小，用一個測量微儀在一個方向測量是最好的方法。

在CNC精密零件加工生產(chǎn)實際中用測微儀（電感式、電容式等）直接于軸系徑向測得徑向值，于軸向測得軸向值，于頂尖的錐面上測得徑向和軸向的綜合值。